真空泵的使用注意事项

1、真空泵工作时会产生振动，若对生产工艺过程中产生影响。可采取防振动措施或使用无振动的泵。

2、了解介质成分，若被抽为气体，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体介质选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装如冷凝器、除尘器等辅助设备。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵相互组合起来才能满足要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

6、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，泵的工作点应该选在使用范围之内较为适宜，而不能让水泵长期超负荷工作。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及一个工作压强要求。

9、真空泵的价格、运转及维修费用。